特點(diǎn)/應(yīng)用◆ 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試
◆ 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu),線性移動
◆ 大手柄驅(qū)動,操作舒適,無回程差設(shè)計
◆ 針座平臺快速、微調(diào)升降功能
◆ 可搭配多種類型顯微鏡
◆ 晶片測試、光電器件測試、PCB/IC測試、射頻測試、高壓大電流測試等
◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計,可無縫升級
◆ 探針臺可根據(jù)客戶要求定制。
主要參數(shù)| 組件 | 項目 | 型號 | |
| QYH-8 | QYH-12 | ||
| 臺體 | Chuck尺寸 | 8英寸 | 12英寸 |
| 快速抽拉 | 行程:110mm | 行程:150mm | |
| 水平旋轉(zhuǎn) | 可360度旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置 | ||
| X-Y移動行程 | 8英寸*8英寸 | 12英寸*12英寸 | |
| X-Y氣浮移動 | 可360°氣浮移動,便于快速定位樣品 | ||
| X-Y移動精度 | 10um/lum | ||
| 樣品固定 | 真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán) | ||
| 針座平臺 | 最多可放置8個探針座 | 最多可放置10個探針座 | |
| 平臺升降 | 可快速升降6mm/可微調(diào)升降25mm | ||
| 背電極測試 | 樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空,4mm插孔可接背電極 | ||
| 顯微鏡 | 顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 | |
| 放大倍率 | 16X-100X/20X-4000X | ||
| 移動行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸行程50.8mm (Z軸可選氣動升降,便于快速進(jìn)行物鏡切換) | ||
| 光源 | 外置LED環(huán)形光源/同軸光源 | ||
| CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 | ||
| 其他功能 | 可加載激光器 | ||
| 探針座 | X-Y-Z移動行程 | 12mm*12mm*12mm | |
| 移動精度 | 10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um | ||
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 | ||
| DC調(diào)節(jié)點(diǎn)測角度 | 0-30° | ||
| RF調(diào)節(jié)角度 | 多點(diǎn)探頭調(diào)水平旋鈕,可以+-10°調(diào)節(jié),精度0.1度 | ||
| 探針夾具 | 線纜 | 同軸線/三軸線/射頻線 | |
| 漏電精度 | 10pA/100fA/10fA | ||
| 固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 | ||
| 接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口 | ||
| 探針 | DC針尖直徑 | 0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um | |
| RF探針頻率 | 40GHz/50GHz/67GHz/110GHz/1100GHz | ||
| 材質(zhì) | 鎢鋼/鈹銅/鍍鎳 | ||
| 外形 | 840mm長*600mm寬*700mm高 | 950mm長*700mm寬*700mm高 | |
| 重量 | 約100千克 | 約150千克 | |
| 可選附件 | 加熱臺 | 屏蔽箱 | |
| 高壓測試配件 | 防震桌 | ||
| 激光系統(tǒng) | 探針卡夾具 | ||
| 射頻測試配件 | 鍍金卡盤 | ||
| 光電測試配件 | |||
| 根據(jù)客戶要求定制 | |||