特點/應(yīng)用
◆ 2至6英寸樣品臺
◆ 高真空腔體
◆ 防輻射屏設(shè)計,樣品溫度均勻性更好
◆ 77K-675K高低溫環(huán)境
◆ 兼容IV/CV/RF測試
◆ 外置多探針臂,移動行程大
◆ 經(jīng)濟實用,可無縫升級
主要參數(shù)| 組件 | 項目 | 型號 | |
| QYGO-2 | QYGO-4 | ||
| 腔體 | 樣品臺尺寸 | 2英寸 | 4英寸 |
| 樣品固定 | 彈簧壓片 | ||
| 觀察窗口 | 2英寸 | 4英寸 | |
| 真空度 | 10-6torr | ||
| 探針臂接口 | 最多6個探針臂接口 | ||
| 其他接口 | 電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口 | ||
| 制冷方式 | 液氮/液氦 | 制冷機 | |
| 控制方式 | 開循環(huán)手動 | 閉循環(huán)自動控制 | |
| 溫度范圍 | 77K~450K/4.5K~450K | 4.5K~450K | |
| 溫控分辨率 | 0.1K/0.01K/0.001K | ||
| 穩(wěn)定性 | ±1K/±0.1K/±0.01K | ||
| 顯微鏡 | X-Y-Z移動行程 | 50mm*25mm*13mm | |
| 結(jié)構(gòu) | 外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu) | ||
| 移動精度 | 10um/lum | ||
| 光源 | 外置LED環(huán)形光源/同軸光源 | ||
| CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 | ||
| 探針座 | X-Y-Z移動行程 | 50mm*25mm*13mm | |
| 結(jié)構(gòu) | 外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu) | ||
| 移動精度 | 10um/lum | ||
| 探針夾具 | 線纜 | 同軸線/三軸線/射頻線 | |
| 漏電精度 | 10pA/100fA/10fA | ||
| 固定探針 | 彈簧固定/螺絲固定 | ||
| 接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口 | ||
| 探針 | 頻率支持 | DC-67GHZ | |
| 針尖直行 | 0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um | ||
| 材質(zhì) | 鎢鋼/鈹銅 | ||
| 真空組件 | 分子泵組/機械泵 | ||
| 冷源組件 | 50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機 | ||
| 外形 | 730mm長*750mm寬*1265mm高 | ||
| 重量 | 約100千克 | ||